[发明专利]一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法:(1)、尾气进入第一吸收塔底部，所述吸收塔为填料塔，塔上部具有吸附剂喷淋系统，通过吸收剂将尾气中的氯硅烷组分在吸收塔中吸收下来；吸收塔塔顶排放的气体进行进一步回收；(2)、经步骤(1)所述的塔顶排放气体，由底部送入第二吸收塔，由塔底流出的吸收液送入精馏塔，进行分离回收吸收液；(3)、将从第二吸收塔塔顶出来的尾气，送入第三吸收塔，获得的浓盐酸进入酸储罐，加入分离出氯化氢气体，用于生产盐酸；(4)、从第三级吸收塔塔顶出来的氢气和氮气进入氢气膜分离器，膜分离器的非渗透气N2放空，氢气则返回氯化氢合成炉回收利用。

主权项

一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：(1)、尾气以压力0.1～0.3MPa，温度‑25～10℃，进入第一吸收塔底部，所述吸收塔为填料塔，塔上部具有吸附剂喷淋系统，通过吸收剂将尾气中的氯硅烷组分在吸收塔中吸收下来；吸收塔塔顶排放的气体进行进一步回收；第一吸收塔中吸附剂为苯，填料为直径1‑2mm的玻璃珠；由塔底排出的吸收剂进入蒸馏分离器，回收吸附剂苯；(2)、经步骤(1)所述的塔顶排放气体，由底部送入第二吸收塔，所述第二吸收塔为填料吸收塔，上部设有吸收液喷淋系统，所述吸收液为SiCl4，经冷凝后从塔顶送入，SiCl4液体与从塔底部上升的合成尾气在填料层中充分接触，除去残余的SiHCl3气体；由塔底流出的吸收液送入精馏塔，进行分离回收吸收液；填料为氧化铝；(3)、将从第二吸收塔塔顶出来的尾气，送入第三吸收塔，采用稀盐酸作吸收液吸收气体中的HCl气体形成浓盐酸，未被吸收的剩余N2和H2从塔顶排出；获得的浓盐酸进入酸储罐，加入分离出氯化氢气体，用于生产盐酸；(4)、从第三级吸收塔塔顶出来的氢气和氮气进入氢气膜分离器，膜分离器的非渗透气N2放空，氢气则返回氯化氢合成炉回收利用。