[发明专利]用于硅烷色谱分析的采样系统无效
申请号: | 201410618149.6 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104316625A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 庄鸿涛;郁光;方华 | 申请(专利权)人: | 上海华爱色谱分析技术有限公司 |
主分类号: | G01N30/20 | 分类号: | G01N30/20 |
代理公司: | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人: | 陈志良 |
地址: | 200233 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明为一种用于硅烷色谱分析的采样系统,包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统,其特征在于:所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路,所述的过滤器和流量计设于进入分析单元的气路上,所有尾气都进入尾气处理系统。采样系统中样品进气气路串接第一减压阀后与第一气路三通连接;第一吹扫气进气气路串接第二减压阀后再和第一气路三通连接,在第二减压阀和第一气路三通之间设有第一截止阀;第二吹扫气进气气路串接第三减压阀后直接连接到尾气处理系统上。本发明实现了在硅烷采样中排除了空气干扰,减少实验误差,同时保障了采样的安全性。 | ||
搜索关键词: | 用于 硅烷 色谱 分析 采样系统 | ||
【主权项】:
一种用于硅烷色谱分析的采样系统,包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统,其特征在于:所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路,所述的过滤器(10)和流量计(11)设于进入分析单元(12)的气路上,所有尾气都进入尾气处理系统(13)。
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