[发明专利]单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构及方法有效
| 申请号： | 201410618406.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104498888A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 邵海平 | 申请（专利权）人： | 邵海平 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 黄良宝 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及单体真空镀膜领域，具体涉及单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构及方法。该机构包括底板，设置于底板上的闭环运送机构和驱动该闭环运送机构的驱动机构，闭环运送机构上设有通过闭环运送机构运送的旋转组件，旋转组件的外侧上设有随旋转组件转动的三个以上的支杆，旋转组件上设有用于固定载片的固定组件，底板上闭环运送机构的一侧上还设有用于阻挡该支杆的阻挡组件。本发明通过使用闭环运送，能达到所有载片能固定的位置，并且通过将载片放置在转轴上，通过转轴上的支杆与挡块及档杆相互配合，可实现载片自动转动任意角度，从而解决现有技术中无法自动翻转的问题，从而达到正反面镀膜能在真空条件下一次性完成，成膜质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 单体 真空镀膜 设备 转架载片 自动 翻转 结构 方法 | ||
【主权项】：
单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构，其特征在于：包括底板，设置于所述底板上的闭环运送机构和驱动该闭环运送机构的驱动机构，所述闭环运送机构上设有通过闭环运送机构运送的旋转组件，所述旋转组件的外侧上设有随旋转组件转动的三个以上的支杆，所述旋转组件上设有用于固定载片的固定组件，所述底板上闭环运送机构的一侧上还设有用于阻挡该支杆的阻挡组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于邵海平，未经邵海平许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410618406.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
