[发明专利]基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器

摘要

基于RF MEMS技术设计的开关可切换带通滤波器属于微电子机械系统领域。该基于RF MEMS可切换开关带通滤波器由两个带通滤波器和四个RF MEMS开关组成，当处在同一路的两个开关导通时，信号从该路滤波器通过。利用RF MEMS开关设计的这种类型滤波器具有可集成化特征，若采用PIN或FET开关设计，则难于实现开关滤波器整体封装，难于集成；具有开关高隔离度特征，采用RF MEMS开关在C-X波段可以实现30dB以上的隔离度；具有结构简单、可靠性高特性，相对于数字可调和模拟可调RF MEMS滤波器，无需考虑开关电容比，设计结构简单，使用开关数量少，可靠性更高。

主权项

基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器，包括输入短截线(28)、输出短截线(29)和带通滤波器，其特征在于：还包括输入RF MEMS悬臂梁开关、输出RF MEMS悬臂梁开关、加载直流偏置电压的电感和偏置电压触块，输入短截线(28)的输出端口通过输入RF MEMS悬臂梁开关与带通滤波器的输入端相连接，带通滤波器的输出端通过输出RF MEMS悬臂梁开关与输出短截线(29)的输入端口相连接；所述的输入RF MEMS悬臂梁开关和输出RF MEMS悬臂梁开关的结构相同均包括开关梁(20)、绝缘层(21)、加载直流电压的金属层(22)、通过射频信号的金属层(23)和衬底(24)，输入RF MEMS悬臂梁开关和输出RF MEMS悬臂梁开关的加载直流电压的金属层(22)均与两个加载直流偏置电压的电感的一端一一对应相连，两个加载直流偏置电压的电感的另一端均与两个偏置电压触块一一对应相连，输入短截线(28)的输出端口与输入RF MEMS悬臂梁开关的开关梁(20)相连接，输入RF MEMS悬臂梁开关的通过射频信号的金属层(23)与带通滤波器的输入端相连接，带通滤波器的输出端与输出RF MEMS悬臂梁开关的通过射频信号的金属层(23)相连接，输出RF MEMS悬臂梁开关的开关梁(20)与输出短截线(29)的输入端口相连接。