[发明专利]具有交换偏置效应的钒铁氧体-铁酸铋多铁复合薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 201410619184.X | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104451543A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 金朝;王丽艳;郑东兴;白海力 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H01F10/18;H01F10/32;H01F41/18 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明所涉及的具有交换偏置效应的钒铁氧体-铁酸铋多铁复合薄膜及制备方法。利用磁控溅射技术在SrTiO3单晶基片上外延生长BiFeO3薄膜；采用反应溅射方法，利用金属Fe靶和V靶共溅射制备钒铁氧体Fe3-xVxO4(0.1≤x≤0.6)薄膜并实现与BiFeO3薄膜的外延生长。利用钒铁氧体和铁酸铋构成多铁复合薄膜；首次发现BiFeO3-Fe3-xVxO4复合薄膜具有交换偏置效应。该BiFeO3-Fe3-xVxO4外延复合结构，扩充了多铁复合结构的研究范围；提供了能够一种简单、廉价并可工业化推广的外延异质结构的制备技术。该发明方法具有靶材选择简单、在多铁性性存储设备等方面具有很好的应用价值的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 交换 偏置 效应 铁氧体 铁酸铋多铁 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有交换偏置效应的钒铁氧体‑铁酸铋多铁复合薄膜，其特征是薄膜结构式为：BiFeO3‑Fe3‑xVxO4，其中0.1≤x≤0.6。
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