[发明专利]铜铟镓硒薄膜表面刻蚀的电化学处理方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体公开了铜铟镓硒薄膜表面刻蚀的电化学处理方法，包括步骤将铜铟镓硒薄膜硒化后放置在电化学工作站，仅Mo层连接工作电极，在无水乙醇中浸泡；处理溶液为盐、无机酸和去离子水的混合溶液，盐为钠盐、钾盐、镁盐、锌盐或铜盐的任一种，无机酸调节处理溶液的pH值为1～6；铜铟镓硒薄膜放入处理溶液，施加电信号，处理后取出用去离子水冲洗，高纯氮气吹干，电信号为循环伏安电信号、恒压电信号、恒流电信号、脉冲电压电信号或脉冲电流电信号的任一种。本发明的方法能够选择性溶解铜铟镓硒薄膜表面的二次相(CuxSe)，优化薄膜的表面质量，克服了腐蚀溶液体系对人体有害且不环保的缺点，利于工业化推广。

主权项

铜铟镓硒薄膜表面刻蚀的电化学处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)：将铜铟镓硒薄膜硒化后放置在电化学工作站，仅Mo层连接工作电极，在无水乙醇中浸泡1～2min，除去表面颗粒杂质；步骤(2)：配制处理溶液，所述处理溶液为0.001～1M/L的盐、无机酸和去离子水的混合溶液，所述盐为钠盐、钾盐、镁盐、锌盐或铜盐的任一种；所述无机酸调节处理溶液的pH值为1～6；步骤(3)：步骤(1)处理的铜铟镓硒薄膜放入步骤(2)制得的处理溶液，施加电信号，处理1～500s后取出所述铜铟镓硒薄膜，用去离子水冲洗，高纯氮气吹干，所述电信号为循环伏安电信号、恒压电信号、恒流电信号、脉冲电压电信号或脉冲电流电信号的任一种。