[发明专利]一种基于辉光放电的真空紫外光电离源装置

摘要

本发明涉及基于辉光放电的真空紫外光电离源装置，包括辉光放电腔体和电离室腔体。辉光放电腔体下端设有紫外光出口，内部设有空心阴极和环形电极，两电极相对设置，施加直流电压。腔体壁上设有稀有气体进出气管。稀有气体进气管的一端与稀有气体气源相连，另一端伸入到两个电极之间。稀有气体出气管一端伸入辉光放电腔体内，另一端经密封阀门放空。沿电极的轴线方向开有通孔，电极上依次施加有直流电压，电极间通过阻值相同的精密电阻相连。电离室腔体壁上设有进样毛细管，真空泵抽气口和真空规接口。辉光放电腔体与电离室腔体通过MgF₂玻璃隔开，辉光放电产生的紫外光通过MgF₂玻璃沿电极的轴线方向进入电离室腔体，对样品进行电离。

主权项

一种基于辉光放电的真空紫外光电离源装置，其特征在于：包括辉光放电腔体(1)、空心阴极(2)、环形电极(3)、MgF₂玻璃(4)、电离室腔体(8)、若干个离子引出电极(10)和差分孔电极(11)，于电离室腔体(8)壁上设有真空规(12)接口和真空泵(13)抽气口；空心阴极(2)和环形电极(3)置于辉光放电腔体(1)内，空心阴极(2)为下端开口、上端密闭的筒状结构，环形电极(3)置于空心阴极(2)的开口端下方；一稀有气体进气管(5)和一稀有气体出气管(7)分别穿过辉光放电腔体(1)的壁面上并伸入至辉光放电腔体(1)内，稀有气体进气管(5)的一端伸入到空心阴极(2)和环形电极(3)之间，另一端与稀有气体气源相连，稀有气体出气管(7)一端位于辉光放电腔体(1)内，另一端经密封阀门放空；离子引出电极(10)为圆柱状结构，置于电离室腔体(8)内部，离子引出电极(10)的轴向开有通孔；当离子引出电极(10)为二个以上时，二个以上的离子引出电极(10)从上至下依次平行、间隔、同轴设置；于电离室腔体(8)内、离子引出电极(10)的下方设有平板状差分孔电极(11)，差分孔电极(11)的孔与离子引出电极(10)的通孔同轴；辉光放电腔体(1)置于电离室腔体(8)的上方，于离子引出电极(10)的通孔上方处的电离室腔体(8)壁上开设有紫外光入口，相对应的于辉光放电腔体(1)底部开设有紫外光出口，辉光放电腔体(1)的紫外光出口、电离室腔体(8)的紫外光入口与离子引出电极(10)的通孔同轴，紫外光出口和紫外光入口通过一MgF₂玻璃(4)隔开，辉光放电腔体(1)内产生的紫外光从紫外光出口通过MgF₂玻璃(4)经紫外光入口入射进入电离室腔体(8)内；电离室腔体(8)侧壁上设有进样毛细管(9)，进样毛细管(9)的气体出口位于离子引出电极(10)与差分孔电极(11)之间或离子引出电极(10)与离子引出电极(10)之间；进样毛细管(9)的气体出口端垂直于经紫外光入口入射进入电离室腔体(8)内的紫外光束。