[发明专利]离轴抛物面镜焦距的检测装置与检测方法无效
| 申请号： | 201410620690.0 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104359655A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 施丽敏 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种离轴抛物面镜焦距的检测装置，由斐索干涉仪及其标准平面镜、五维调整架、补偿小球及其三维调整架、承托固定底板和三坐标测量机组成，标准平面镜是所述的斐索干涉仪的光束输出窗口，所述的五维调整架的顶面固定一基座，在该基座固定待测离轴抛物面镜和一辅助圆柱，所述的补偿小球及其三维调整架须放置于待测离轴抛物面镜的焦点处，以上所述的五维调整架及待测离轴抛物面镜、补偿小球及其三维调整架固定于所述承托固定底板上，所述的斐索干涉仪位于所述的基座摆放待测离轴抛物面镜的正上方，三坐标测量机在另外位置。本发明能够准确测量待测离轴抛物面的焦距，弥补了现有技术中的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 抛物面镜 焦距 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种离轴抛物面镜焦距的检测装置，其特征在于，该装置由斐索干涉仪(1)及其标准平面镜(2)、五维调整架(6)、补偿小球(4)及其三维调整架(5)、辅助圆柱(9)、承托固定底板(7)和三坐标测量机(8)组成；所述的标准平面镜(2)是所述的斐索干涉仪(1)的光束输出窗口；所述的五维调整架(6)的顶面固定有一基座，在该基座一端固定有待测离轴抛物面镜(3)，另一端设有与该待测离轴抛物面镜具有同一曲面的辅助圆柱(9)；所述的五维调整架(6)、补偿小球(4)及其三维调整架(5)固定在承托固定底板(7)上，所述的斐索干涉仪(1)位于所述的基座摆放待测离轴抛物面镜的正上方。
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