[发明专利]有机铝材料在审
申请号: | 201410625314.0 | 申请日: | 2014-11-07 |
公开(公告)号: | CN105623320A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | D·王;P·特雷福纳斯三世;K·M·奥康奈利 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C09D1/00 | 分类号: | C09D1/00;C09D5/00;C01F7/02;H01L51/54;H01L51/56;H01L51/46;H01L51/48 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 江磊 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 使用有机铝涂料组合物在各种基材上沉积膜,随后将所述膜固化以形成用于多种制备应用的氧化物膜,特别是用于可以使用气体阻挡层的情况。 | ||
搜索关键词: | 有机 材料 | ||
【主权项】:
一种形成氧化铝层的方法,所述方法包括:提供基材;在所述基材上设置涂料组合物层,其中所述涂料组合物包含:(i)式AlL1xL2y的有机铝化合物,其中L1=(C1‑C6)烷氧基;L2=(C5‑C20)β‑二酮根或OR1;R1=(C4‑C10)烃基部分;x是0‑2的整数;y是1‑3的整数;和x+y=3;和(ii)式HOR1的有机溶剂;以及固化所述涂料组合物,以在所述基材上形成含氧化铝的层。
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