[发明专利]金属有机材料和方法有效

专利信息
申请号: 201410625396.9 申请日: 2014-11-07
公开(公告)号: CN105633300B 公开(公告)日: 2018-03-06
发明(设计)人: D·王;P·特雷福纳斯三世;K·M·奥康纳;D·C·杨 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/52
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 江磊
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 使用涂料组合物在电子器件基材上沉积膜,将所述膜置于一定的条件下使得在基质前体材料层上形成氧基金属前体材料层,然后将该层固化从而形成设置在固化的基质层上的固化的氧基金属层。
搜索关键词: 金属 有机 材料 方法
【主权项】:
一种在电子器件基材上的基质层上形成氧基金属层的方法,该方法包括:在电子器件基材上沉积涂料组合物的层,其中所述涂料组合物包含基质前体材料、表面能为20‑40尔格/厘米2的氧基金属前体材料以及有机溶剂混合物,所述基质前体材料选自聚亚芳基材料、芳基环丁烯基材料、含硅的材料、有机金属材料及其组合;所述氧基金属前体材料具有以下通式:M+mzOz‑1L1x2L2y2其中,M是第3‑14族金属;L1选自(C1‑C6)烷氧基,(C1‑C3)羧基烷基和(C5‑C20)β‑二酮根;L2是包含C4‑20烃基部分的低表面能配体;m是M的价态;z是1‑50的整数;x2是0至(m(z)–2(z‑1)–1)的整数;y2是1至(m(z)–2(z‑1))的整数;以及x2+y2=m(z)–2(z‑1),所述有机溶剂混合物主要包含第一有机溶剂和少量的第二有机溶剂,其中所述第二有机溶剂具有比第一有机溶剂相对较高的沸点,所述第二有机溶剂的表面能比氧基金属前体材料的表面能更高;所述基质前体材料的表面能高于所述氧基金属前体材料的表面能;在沉积步骤中,所述氧基金属前体材料朝着空气界面迁移使得在所述基质前体材料的层上形成包括氧基金属前体材料的层的多层结构;以及使所述基质前体材料的层和所述氧基金属前体材料的层固化。
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