[发明专利]集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器有效
申请号: | 201410628285.3 | 申请日: | 2014-11-10 |
公开(公告)号: | CN104283111B | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 姚辰;曹俊诚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;H01S5/065 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出了一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法,集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器至少包括依次相连接的DBR光栅波导、矩形直波导和楔形波导;所述楔形波导的一端为窄端面,另一端为宽端面,所述楔形波导的窄端面与所述矩形直波导相连接。本发明采用楔形波导结构增大激光器增益面积提高输出光功率,减小激光器远场光斑发散角,提高出射光束质量;采用一阶DBR光栅结构,实现单纵模激射,提供激射光的反射,替代传统端面镀膜工艺。 | ||
搜索关键词: | 集成 光栅 楔形 结构 发射 赫兹 量子 级联 激光器 | ||
【主权项】:
一种集成光栅的楔形结构的边发射太赫兹量子级联激光器,其特征在于:包括:依次相连接的DBR光栅波导、矩形直波导和楔形波导;所述楔形波导的一端为窄端面,另一端为宽端面,所述楔形波导的窄端面与所述矩形直波导相连接,所述楔形波导的宽端面为太赫兹激光的出射面。
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