[发明专利]新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺在审
| 申请号： | 201410629747.3 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN105570687A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 陈闺艳 | 申请（专利权）人： | 陈闺艳 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，包括气瓶和气体分布器，气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上，刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面；本发明加工工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 工业气体 均匀分布 系统 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，其特征在于：包括气瓶和气体分布器，所述的气瓶与气体分布器连接，所述的气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面。
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