[发明专利]LED外延结构及其生长方法在审
申请号: | 201410634596.0 | 申请日: | 2014-11-12 |
公开(公告)号: | CN104409590A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 张宇;苗振林;牛凤娟 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/00 |
代理公司: | 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人: | 何自刚 |
地址: | 423038 湖南省郴*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED外延结构,包括:蓝宝石衬底;低温缓冲层,位于所述蓝宝石衬底之上;高温GaN层,位于低温缓冲层之上;高温N型GaN层,位于高温GaN层之上;过渡层,位于高温N型GaN层之上,其中过渡层为Si3N4/GaN超晶格层和不掺杂的GaN层交替排列的过渡层,该过渡层的厚度为30-120nm;发光层,位于过渡层之上,发光层包括交替排列的掺杂In的InxGa(1-x)N层和不掺杂的GaN层;P型AlGaN层,位于发光层之上;以及,高温P型GaN层,位于P型AlGaN层之上。本发明还公开了一种LED外延结构的生长方法。本发明提供的LED外延结构减少了高温N型GaN层和发光层之间的应力。 | ||
搜索关键词: | led 外延 结构 及其 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种LED外延结构,其特征在于,包括:蓝宝石衬底;低温缓冲层,位于所述蓝宝石衬底之上;高温GaN层,位于所述低温缓冲层之上;高温N型GaN层,位于所述高温GaN层之上;过渡层,位于所述高温N型GaN层之上,其中所述过渡层为Si3N4/GaN超晶格层和不掺杂的GaN层交替排列的过渡层,该过渡层的厚度为30‑120nm;发光层,位于所述过渡层之上,所述发光层包括交替排列的掺杂In的InxGa(1‑x)N层和不掺杂的GaN层;P型AlGaN层,位于所述发光层之上;以及,高温P型GaN层,位于所述P型AlGaN层之上。
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