[发明专利]六氟化硫回收处理工艺

摘要

本发明公开了六氟化硫回收处理工艺，该处理工艺由加热裂解、多级水洗、多级碱洗、变压吸附、精馏步骤组成，通过本申请回收处理工艺得到的六氟化硫，其纯度大于99.999％，达到了工业用气体六氟化硫GB/T12022-2014标准和电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-xxxx(报批稿)标准，提升了现有回收处理技术中六氟化硫的品质，扩展了其在电子工业上的应用性能。

主权项

六氟化硫回收处理工艺，其特征在于：所述处理工艺由以下步骤组成：(1)加热裂解：将六氟化硫废气通入热解炉，在常压下升温至200—450℃进行裂解，得混合气体A；(2)水洗：将混合气体A通出后进行多级水洗，控制各级洗涤液中氟化物的梯次含量，得混合气体B；(3)碱洗：将混合气体B通出后进行多级碱洗，控制各级碱液的梯次浓度、氟化物的含量，得混合气体C；(4)变压吸附：a、将混合气体C加压到0.25—0.30Mpa，在常温下进行多段硅胶吸附、多段三氧化二铝吸附、多段氟吸附剂吸附；b、将a步骤所得混合气体加压到1.2—1.9Mpa，在常温下进行多段三氧化二铝吸附、多段氟吸附剂吸附、多段13X分子筛吸附，得混合气体D；(5)精馏：将混合气体D在1.2—1.9Mpa压力、‑45—‑30℃温度下冷凝成气液混合物后，通入轻分塔，所述轻分塔塔压为1.2—1.9Mpa，塔顶温度为‑55—‑50℃，塔釜温度为18—25℃；将轻分塔塔釜液相通入重分塔，所述重分塔塔压为0.8—1.2Mpa，塔顶温度为‑23—‑12℃，塔釜温度为‑4—5℃；将重分塔塔釜气相通入脱烷塔，所述脱烷塔塔压为0.6—0.9Mpa，塔顶温度为‑28—‑18℃，塔釜温度为‑25—‑15℃，所述脱烷塔塔釜导出液相即为处理完成的六氟化硫，所述六氟化硫的纯度大于99.999％。