[发明专利]基于等离子体的电子捕获解离装置以及相关系统和方法有效
申请号: | 201410638382.0 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104637775B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | T·里斯特夫;M·丹宁;K·R·牛顿;G·帕特里奇 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/02 |
代理公司: | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11484 | 代理人: | 陈静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 在此公开基于等离子体的电子捕获解离装置以及相关系统和方法。所述电子捕获解离(ECD)装置(100;200;400;500;600;806;906;1006;1106,1206;1306)包括等离子体源(102;202;402;502),其用于生成等离子体。在等离子体源内部或外部,分析物离子在ECD互作用区域(110;210;410;510)中暴露于等离子体。所述装置可以包括用于在准备与所述分析物离子的互作用中提纯所述等离子体的一个或多个设备。提纯可以必需从等离子体(例如光子、亚稳颗粒、中性颗粒和/或不适合于ECD的高能量电子)移除不想要的核素和/或控制所述等离子体中的低能量电子的密度。 | ||
搜索关键词: | 基于 等离子体 电子 捕获 解离 装置 以及 相关 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种电子捕获解离装置(100;200;400;500;600;806;906;1006;1106,1206;1306),包括:等离子体源(102;202;402;502),其配置用于生成等离子体;等离子体提纯设备,其配置用于将所生成的等离子体转换为包括适合于电子捕获解离的低能量电子和等离子体离子的所提纯的等离子体;以及腔室(104),其配置用于接收含有所提纯的等离子体的互作用区域(110;210;410;510)中的离子射束(108;208;408;608)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司,未经安捷伦科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410638382.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:基板液处理装置和基板液处理方法
- 下一篇:密封开关及采用该密封开关的灯具