[发明专利]一种单晶生长方法及装置在审
申请号: | 201410638863.1 | 申请日: | 2014-11-13 |
公开(公告)号: | CN104328483A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 吴晟;吴星;倪代秦 | 申请(专利权)人: | 吴晟;吴星;倪代秦 |
主分类号: | C30B13/10 | 分类号: | C30B13/10 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 100190 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种单晶生长方法及装置,装置包括加料部、单晶生长部、加热单元和熔料器;开始时,仅有部分籽晶或者部分籽晶和少量预加料全部熔化,在单晶生长部形成熔区,生长单晶的过程中,在熔区的上方以熔液的方式逐步向熔区内添加原料,同时改变加热器与籽晶的相对位置,使熔区相对于籽晶向上移动,直至长成所需尺寸的单晶。本发明由于采用熔液加料,便于分别控制原料熔化和熔液结晶;可以根据结晶需要的最佳条件在很大的范围内自由调整,有利于提高单晶生长速度、改善单晶质量并精确控制单晶成分,还有利于节能。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶生长装置,包括加料部、单晶生长部和加热单元,其特征在于:所述加料部和单晶生长部之间设置有对固相原料进行熔化的熔料器,所述熔料器的下部或底部设置有漏液孔,由加料部落入熔料器的固相原料,经加热单元加热熔化后,以熔液的形式滴入或流入单晶生长部的熔区里,作为添加的原料参与单晶生长。
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