[发明专利]物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统与工艺方法

摘要

本发明涉及物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统与工艺方法，系统包括顺序连接的工艺控制系统、高压电子束发生器、高压电子束，以及与工艺控制系统顺序连接的工艺动作控制器、工艺动作执行机构，还包括与高压电子束所作用的涂层靶材，用于在基体工件上生成涂层；所述工艺控制系统还连有工件轴控制装置，所述工件轴控制装置与基体工件连接，用于控制基体工件的旋转。本发明的基体工件运动控制系统具有手动/自动控制方式，连续/往复运动模式，以及分段调速等功能，能有效、便捷的设置涂层制备工艺参数，便于操作者掌握和使用。

主权项

1.物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统，包括顺序连接的工艺控制系统、高压电子束发生器、高压电子束，以及与工艺控制系统顺序连接的工艺动作控制器、工艺动作执行机构，还包括与高压电子束所作用的涂层靶材，用于在基体工件上生成涂层；其特征在于：所述工艺控制系统还连有工件轴控制装置，所述工件轴控制装置与基体工件连接，用于控制基体工件的旋转；工艺控制系统通过工艺动作控制器控制工艺动作执行机构，使基体工件位于加工位置；在涂层制备过程中，工艺控制系统控制高压电子束发生器激发生成电子束轰击靶材，同时工件轴控制装置的工件轴运动控制系统控制基体工件旋转；电子束轰击靶材时汽化靶材材料，汽化的靶材粒子在基体工件的表面内凝固，得到设定区域内的基体工件热障涂层；所述工件轴控制装置的工件轴运动控制系统控制基体工件旋转包括以下步骤：1)工件轴运动控制系统控制工件轴运动控制系统进行回零操作；2)然后通过工件轴运动控制系统选择连续运动还是往复运动；如果是连续运动，则设定电机正转或反转；如果是往复运动，则控制电机到达设定的起止点；3)选择是否分段调速；如果是，则设定分段信息并控制电机旋转；否则清空分段信息，设定电机转速并控制电机旋转。