[发明专利]一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法

摘要

本发明公开了一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法，属于数字信号处理领域。此种信号处理系统(如图1)包括：1、扫束采集离子束数据单元；2、滤波去除离子束数据中的噪声的单元；3、去噪后信号处理单元。由于低能大束流离子注入机中的法拉第杯采集到的初始数据中，不可避免的会掺杂进去打火噪声数据，而利用小波去噪的方法可以将含噪声的数据还原到无打火现象时的原始状态。将该系统处理后的束流数据作为离子注入机均匀性调节算法的参数，就可以实现对离子束流准确的矫正，调节。

主权项

一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法，主要包括：采用小波去噪的手段对离子注入机法拉第杯采集到的掺杂数据进行处理。从而可以将含噪声的数据还原到无打火现象时的原始状态。因为用于离子注入机调节均匀性的算法需要以无噪声干扰情况下的束流特性数据作为输入值进行优化计算，所以使用去噪单元的输出数据作为其输入参数，能达到准确调节均匀性的效果。