[发明专利]一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201410647741.9 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104498872A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 孟凡平;陈春立;李朋;黄峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层，所述的涂层组成为VxBy，其中y/x＝1.5～2.4；所述的涂层由长短不一的柱状晶组成，柱状晶宽度为50nm～300nm，柱状晶长宽比为5～30；涂层密度在4.0g/cm3～4.9g/cm3；所述的涂层利用X射线衍射(XRD)检测，具有高度(001)择优取向。本发明还公开了高硬度耐磨损的硼化钒涂层的制备方法，制备的硼化钒涂层具有高硬度H≥35GPa，摩擦系数为0.4～0.6，对直径6mm的Al2O3研磨球在5N的作用力下，涂层的磨损率为～10-16m3/N·m数量级。该涂层适合高温、高压下用来增强器件表面的耐磨性，延长器件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 耐磨 硼化钒 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层，其特征在于，所述的涂层具有如下特征：所述的涂层组成为VxBy，其中y/x＝1.5～2.4；所述的涂层由长短不一的柱状晶组成，柱状晶宽度为50nm～300nm，柱状晶长宽比为5～30；涂层密度为4.0g/cm3～4.9g/cm3；所述的涂层利用X射线衍射(XRD)检测，具有高度(001)择优取向。
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