[发明专利]一种炉管用传片机械手的保护装置及保护方法有效
| 申请号： | 201410654570.2 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN104440950A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王志良;裴雷洪;俞玮;敖海林 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种炉管用传片机械手的保护装置及保护方法，通过在机械手设置保护罩检测单元，以对机械手的抓手是否罩有保护罩的状态进行实时检测，并在抓手罩有保护罩时通过控制单元禁止机械手的驱动单元对机械手进行驱动，可防止传片机械手在抓手罩有保护罩时运动，并同时具有报警功能，从而避免了因使抓手误运动所导致的与保护罩发生碰撞而损坏的事故，确保了在机械手维护保养时操作的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 炉管 用传片 机械手 保护装置 保护 方法 | ||
【主权项】：
一种炉管用传片机械手的保护装置，所述机械手设于所述炉管的下方区域，所述机械手设有抓手，所述抓手下方设有滑块，所述滑块下方设有导轨，所述滑块连接驱动单元，所述驱动单元驱动所述滑块带动所述抓手沿所述导轨水平运动，用以传送硅片盒中的硅片，以及对硅片的数量进行检测，其特征在于，所述保护装置包括：保护罩，下端为开口，用以从上方将所述抓手罩于其中；保护罩检测单元，用以检测所述抓手是否罩有所述保护罩，其在所述抓手罩有所述保护罩时产生第一检测信号，在所述抓手未罩有所述保护罩时产生第二检测信号；控制单元，分别连接所述保护罩检测单元和所述驱动单元，用以根据接收的所述第一检测信号，控制禁止所述驱动单元执行对所述机械手的驱动，以及根据接收的所述第二检测信号，控制允许所述驱动单元执行对所述机械手的驱动。
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