[发明专利]小型化组合单轴冷原子惯性传感器及其测量方法

摘要

本发明属于转速、加速度测量和惯性导航技术领域，涉及一种小型化组合单轴冷原子惯性传感器。本发明小型化组合单轴冷原子惯性传感器包括二维微晶玻璃真空腔体、三维微晶玻璃真空腔体、差分泵浦管道、碱金属源、所述二维微晶玻璃真空腔体通过差分泵浦管道连接在三维微晶玻璃真空腔体上，且分别连接有碱金属源，另外，所述差分泵浦管道为与两个腔体材质一致的微晶玻璃制成，且所述三维微晶玻璃真空腔体内具有作为原子陀螺、原子加速度计和原子重力梯度仪工作介质的冷原子团。本发明结合低温键合技术形成微晶玻璃真空腔，能够在一套装置内实现转速、加速度和重力梯度测量，其集成度高，结构紧凑，且通光面积大，具有较大的工程应用价值。

主权项

一种小型化组合单轴冷原子惯性传感器，其特征在于，包括二维微晶玻璃真空腔体(1)、三维微晶玻璃真空腔体(2)、差分泵浦管道(3)、碱金属源(6)、所述二维微晶玻璃真空腔体(1)通过差分泵浦管道(3)连接在三维微晶玻璃真空腔体(2)上，且分别连接有碱金属源(6)，另外，所述差分泵浦管道(3)为与两个腔体材质一致的微晶玻璃制成，且所述三维微晶玻璃真空腔体(2)内具有作为原子陀螺、原子加速度计和原子重力梯度仪工作介质的冷原子团(13)。