[发明专利]光电转换装置

摘要

本发明涉及光电转换装置。该光电转换装置包括具有光电转换部分的半导体衬底。绝缘体被设置在所述半导体衬底上。所述绝缘体具有与所述光电转换部分对应的孔。波导部件被设置在所述孔中。层内透镜被设置在所述波导部件的较远离所述半导体衬底的一侧。第一中间部件被设置在所述波导部件与所述层内透镜之间。所述第一中间部件具有比所述层内透镜低的折射率。

主权项

一种光电转换装置，包括：半导体衬底；设置在所述半导体衬底中的第一光电转换部分；设置在所述半导体衬底中的第二光电转换部分；绝缘体，设置在所述半导体衬底上，并且包括设置在所述第一光电转换部分和所述第二光电转换部分之间的区域上的部分；设置在所述半导体衬底上的第一波导部件，配置成与所述第一光电转换部分交迭，并且由所述绝缘体包围；设置在所述半导体衬底上的第二波导部件，配置成与所述第二光电转换部分交迭，并且由所述绝缘体包围；第一透镜，设置在所述第一波导部件的较远离所述第一光电转换部分的较远侧并且被配置为将光会聚到所述第一波导部件上；第二透镜，设置在所述第一透镜的较远离所述第一光电转换部分的较远侧；波长选择部件，设置在所述第一透镜的较远离所述第一光电转换部分的较远侧；第一部件，设置在与所述第一光电转换部分交迭的位置、所述绝缘体的所述部分上方的位置以及与所述第二光电转换部分交迭的位置处，与所述第一波导部件和所述第二波导部件接触，并且由与所述第一波导部件和所述第二波导部件的材料相同的材料制成；以及第二部件，设置在所述第一波导部件和所述第一透镜之间，其中所述第一波导部件的与所述半导体衬底的主表面平行的表面上的投影被包括在所述第二部件的表面上的投影中，并且其中包括在所述第二部件中的材料的折射率比包括在所述第一透镜中的材料的折射率低。