[发明专利]一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板及其制作方法在审
| 申请号： | 201410657790.0 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104404446A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张霞;于治水;姚宝殿 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板及其制作方法。所述的精细金属掩膜板包括上、下两磁性膜层及石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层，所述的上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层间依次层叠形成三明治结构；或者，上、下两磁性膜层对石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成包封结构。本发明通过采用上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成掩膜板，可实现制作更精细的通孔，可大幅度提高单位面积上的通孔密度，以致可显著提高掩膜板蒸镀分辨率，可使制作的OLED显示屏的分辨率超过400PPI，具有显著的工业化应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨率 蒸镀用 精细 金属 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种超高分辨率蒸镀用精细金属掩膜板，其特征在于：包括上、下两磁性膜层及石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层，所述的上、下两磁性膜层与石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层间依次层叠形成三明治结构；或者，上、下两磁性膜层对石墨烯和/或石墨烯衍生物中间层形成包封结构。
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