[发明专利]一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201410659317.6 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN104404456A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张宁;余新平;容构华;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 北京四方继保自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 | 代理人： | 吴鸿维 |
| 地址： | 100085 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜锌锡硫(CZTS)四元靶材的制备方法。该发明采用高纯硫化亚铜(Cu2S)、硫化锌(ZnS)、二硫化锡(SnS2)粉末为原料，按照所需化学计量比充分球磨混合均匀，将混合粉末置于模具中经热压烧结成型，制成铜锌锡硫(CZTS)四元靶材。本发明工艺简单，制得的CZTS靶材成分均匀，相对密度达到90％以上，溅射性能良好，主要用于高效率、低成本的CZTS薄膜太阳能电池的制备与规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫四元靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫四元靶材的制备方法，其特征在于：按照化学计量比将纯度≥4N的高纯硫化亚铜Cu2S、硫化锌ZnS、二硫化锡SnS2粉末混合均匀；然后将混合粉末烘干、过筛；然后将混合均匀的粉末置于模具中通过热压烧结制备CZTS四元靶材。
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