[发明专利]一种基于微纳结构的压电声波生物传感器

摘要

本发明公开了一种基于微纳结构的压电声波生物传感器，包括石英晶振片和频率计，所述石英晶振片包括石英晶片、设置在石英晶片上部的工作电极、设置在石英晶片下部的下电极，所述频率计连接工作电极和下电极，所述石英晶振片表面设置微米结构或纳米结构。与现有技术相比，本发明通过微纳加工工艺可以在石英晶振片表面精确制作不同尺寸、不同形貌的微米纳米结构，可以根据不同的用途来调整微米纳米结构，不仅体现了本发明的应用灵活性，而且提供一种新型的传感器件，增强了这种QCM生物传感器的应用范围。

主权项

一种基于微纳结构的压电声波生物传感器，包括石英晶振片和频率计，所述石英晶振片包括石英晶片、设置在石英晶片上部的工作电极、设置在石英晶片下部的下电极，所述频率计连接工作电极和下电极，其特征在于，所述石英晶振片表面设置微米结构，所述微米结构的制作方法是：将石英晶振片依次用丙酮、乙醇各超声10min后吹干，用氧气等离子体处理5min；然后旋涂一层六甲基二硅氮烷，然后旋涂一层光刻胶，光刻胶厚度在0.2～5μm之间，90℃下烘5～30min，接着，将涂有光刻胶的石英晶振片进行紫外或深紫外曝光，曝光时间5s～3min，然后，将曝光后的石英晶振片浸入显影液中，显影后得到正胶或负胶微米结构。