[发明专利]低浓度标准臭氧发生器的反馈控制装置

摘要

本发明涉及低浓度标准臭氧发生器的反馈控制装置，包括压力调节器、臭氧发生器、流量控制器、气路阀组、双光路紫外光度计、抽气装置以及嵌入式计算机组成。本发明解决了产生低浓度臭氧气体准确度不高的问题，实现了低浓度的臭氧发生器的控制调节和输出浓度的实时校准，具有响应时间快，测量精度高的优点。本发明可应用于臭氧气体的标准传递、臭氧分析仪的校准等实验室配气和移动式臭氧标准气体生产。

主权项

1.低浓度标准臭氧发生器的反馈控制装置，其特征在于，包括压力调节器、臭氧发生器、流量控制器、气路阀组、双光路紫外光度计、抽气装置以及嵌入式计算机；纯净干燥的空气经过压力调节器分流后进入臭氧发生器，然后臭氧气体与纯净干燥的气体经过混合后输出，输出的臭氧气体分流一部分进入双光路紫外光度计，经过A、B两路光池和窗口玻璃后，再由两路光电检测器和流量压力测量装置检测，再由抽气装置排出；双光路紫外光度计对输出的臭氧气体浓度实时测量，测量的信号输出至嵌入式计算机进行计算，计算得出的浓度值与设定值比较，嵌入式计算机对臭氧发生器进行实时控制调节；其中，所述双光路紫外光度计安装有加热装置，所述加热装置应用于紫外光源恒温加热；将纯净干燥的空气经过压力调节器分流后进入臭氧发生器，输出至小流量控制器调节后与第一三通接头的一端连接，另一路经过压力调节器分流后的纯净空气经过大流量控制器检测和控制流量，输出后与第一三通接头的另一端连接，两路气体在第一三通接头处混合后与第二三通接头的一端连接，第二三通接头的另一端与臭氧输出口连接输出气体；臭氧发生器上安装有臭氧发生元件和臭氧浓度控制元件，用于持续产生一定浓度的臭氧气体，也控制调节臭氧气体输出的浓度，它还安装有加热装置，将其工作温度控制在48℃±1℃。