[发明专利]一种基于光纤腐蚀的微盘谐振腔及其制作方法有效
| 申请号： | 201410666893.3 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN104466641B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 史伟;张起航;房强;齐亮 | 申请（专利权）人： | 山东海富光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所37202 | 代理人： | 于涛 |
| 地址： | 264209 山东省威海市高技术产*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于光纤腐蚀的微盘谐振腔及其制作方法，其特征在于由微盘和光纤支柱组成，微盘为厚度15‑25微米带完整内包层的圆盘体，支柱由带涂覆层的底座和内包层腐蚀成腰形的支撑杆组成，微盘通过光纤支柱得以支撑，制作方法是去除光纤末端一段涂覆层并将端面切平；对光纤末端面及末端一部分重新涂覆保护层；将光纤末端垂直静置于浓度为氢氟酸溶液中；去除保护层；末端15‑25微米切割得到微盘谐振腔；前端1‑2厘米带涂覆层光纤切割得到底座，本发明的有益效果一是利用成本低的氢氟酸溶液腐蚀来制作微盘谐振腔，因此工艺步骤简单，设备投资低；二是微盘谐振腔其材料与光纤相同，可以用于窄线宽及单频光纤激光器的模式选择。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 腐蚀 谐振腔 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于光纤腐蚀的微盘谐振腔，其特征在于由微盘和支柱组成，微盘为厚度 15‑25 微米带完整内包层的圆盘体，支柱由带涂覆层的底座和内包层腐蚀成腰形的支撑杆组成，微盘通过支柱得以支撑。
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