[发明专利]用于线阵列微纳焦点X射线源的点状串列靶有效
| 申请号： | 201410667869.1 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104465277A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 周日峰;李晓斌;王珏;陈赞 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | H01J35/02 | 分类号： | H01J35/02;A61N5/10 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400044 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于线阵列微纳焦点X射线源的点状串列靶，包括靶基和设置在靶基上的点状串列靶点，所述点状串列靶点包括若干个点状靶点，若干个点状靶点按一定的距离间隔排列，所述靶点转化为X射线的能力远大于靶基。本发明所产生的焦斑大小仅由点状靶结构的形状和大小来决定，与电子束大小不发生直接联系，这样有利于形成稳定的、微纳尺寸的多焦点阵列，大大降低了对电子束聚焦尺寸、扫描偏转精度控制等的要求，简化了微纳射线源聚焦、偏转系统结构，降低了加工制造难度，从而降低了生产成本，为实现亚微米甚至纳米级焦点尺寸的线阵多焦点射线源提供了一条可行的路线。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阵列 焦点 射线 串列 | ||
【主权项】：
用于线阵列微纳焦点X射线源的点状串列靶，其特征在于：包括靶基和设置在靶基上的点状串列靶点，所述点状串列靶点包括若干个点状靶点，若干个点状靶点按一定的距离间隔排列，所述靶点转化X射线的能力远大于靶基。
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