[发明专利]一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水温度自动控制装置

摘要

本发明公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水温度自动控制装置，包括设置在长晶设备的冷却进水管上的进水温度传感器和冷却出水管上的出水温度传感器，以及冷却出水管上的电子流量阀，进行集中控制的PLC控制器，所述的进水温度传感器、出水温度传感器、电子流量阀与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信，所述的进水温度传感器和出水温度传感器的精度大于0.1度，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。所述的电子流量阀的最小调节范围为1升/分钟，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。利用本发明能使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统出水温度变化控制在0.1度以内，减少了水温波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。

主权项

一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水温度自动控制装置，其特征在于：包括设置在所述长晶设备的冷却进水管上的进水温度传感器，设置在所述的长晶设备的冷却出水管上的出水温度传感器、设置在所述的长晶设备的冷却出水管上的电子流量阀，进行集中控制的PLC控制器，所述的进水温度传感器、出水温度传感器、电子流量阀与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信，所述的PLC控制器内部设置冷却水温自动控制算法，所述的自动控制算法包括以下步骤：步骤一：检测所述的进水温度传感器，获得进水温度T₀，调节所述的电子流量阀的流量为Q，使所述的出水温度传感器的输出为出水温度T₁；步骤二：检测所述的出水温度传感器，获得出水温度t₁，并计算温度偏差△T= t₁‑T₁，如果△T为零，则重复步骤二；如果△T不为零，则进入步骤三；步骤三：调节所述的电子流量阀的流量，调节量△Q= Q*△T/( T₁‑ T₀),然后返回步骤二。