[发明专利]一种薄膜晶体管结构、其制作方法及相关装置在审
| 申请号： | 201410676136.4 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104409514A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王杨;龙跃 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管结构、其制作方法及相关装置，其中薄膜晶体管结构包括：衬底基板，在衬底基板上层叠设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管共用一个栅极，由于薄膜晶体管结构采用第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管层叠设置且共用一个栅极的新型结构，可以缩小多个薄膜晶体管结构在整个显示面板中所占区域的面积，同时可以降低功耗，进一步提高显示面板的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 结构 制作方法 相关 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管结构，其特征在于，包括：衬底基板，在所述衬底基板上层叠设置的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管共用一个栅极。
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