[发明专利]多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置在审
申请号: | 201410677422.2 | 申请日: | 2014-11-21 |
公开(公告)号: | CN104357906A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 倪屹;司继良;张杰;巩潇;刘银法;刘棋奇 | 申请(专利权)人: | 江南大学 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;张涛 |
地址: | 214122 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种生长装置,尤其是一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,属于晶体制备的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体以及位于所述炉体外的真空装置;所述炉体内设有保温屏,所述保温屏内设有单晶生长坩埚机构,所述单晶生长坩埚机构包括至少两个坩埚体,所述单晶生长坩埚机构内的坩埚体相互独立。本发明炉体内设置至少两个坩埚体,通过真空装置、加热装置的配合能一次获得至少二个蓝宝石单晶,在提高生长速率的同时提高了晶体的产量;长方体型晶体便于后续加工切割,节约能耗,降低成本,安全可靠。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 三维 蓝宝石 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体(8)以及位于所述炉体(8)外的真空装置(10);其特征是:所述炉体(8)内设有保温屏(3),所述保温屏(3)内设有单晶生长坩埚机构,所述单晶生长坩埚机构包括至少两个坩埚体(1),所述单晶生长坩埚机构内的坩埚体(1)相互独立。
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