[发明专利]微型加热器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410678768.4 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN104401931A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 罗雯雯 | 申请（专利权）人： | 苏州诺联芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型加热器及其制造方法，所述微型加热器具有（111）型硅片衬底、设置于（111）型硅片衬底上表面的抗腐蚀掩膜层和功能结构层。所述功能结构层具有贴附在抗腐蚀掩膜层上表面的加热电阻条及其引线结构。所述（111）型硅片衬底和抗腐蚀掩膜层及功能结构层共同形成有位于微型加热器整体中间上侧位置处且悬空设置的加热区、间隔形成在加热区周围的框架区。所述抗腐蚀掩膜层和功能结构层共同形成有连接加热区和框架区的薄膜状支撑悬梁。所述（111）型硅片衬底包括形成在框架区下侧的衬底框架、形成在加热区底部的硅结构层、采用各向异性湿法腐蚀工艺形成在衬底框架和硅结构层之间的绝热腔。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 加热器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微型加热器，其具有（111）型硅片衬底、设置于（111）型硅片衬底上表面的抗腐蚀掩膜层和功能结构层；所述功能结构层具有贴附在抗腐蚀掩膜层上表面的加热电阻条及其引线结构，其特征在于：所述（111）型硅片衬底和抗腐蚀掩膜层及功能结构层共同形成有位于微型加热器整体中间上侧位置处且悬空设置的加热区、间隔形成在加热区周围的框架区，所述抗腐蚀掩膜层和功能结构层共同形成有连接加热区和框架区的薄膜状支撑悬梁，所述（111）型硅片衬底包括形成在框架区下侧的衬底框架、形成在加热区底部的硅结构层、采用各向异性湿法腐蚀工艺形成在衬底框架和硅结构层之间的绝热腔。
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