[发明专利]数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置

摘要

本发明提供一种数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置。数据运算方法包括：运行展开步骤，通过对每个运行数据执行数据展开操作，而使多个运行数据展开并存储在运行展开存储器的地址空间；重叠信息取得步骤，对地址空间的各地址执行扫描操作而取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息，所述扫描操作是对地址空间的第m个地址写入在完成运行展开步骤的时点分别存储在地址空间的第0个地址至第m个地址的值的总和；及逻辑运算步骤，基于重叠信息，对多个运行数据族群进行逻辑运算。本发明的数据运算方法能用短时间进行多个运行数据族群的逻辑运算。

主权项

一种数据运算方法，将使二值图像数据运行长度化而获得的至少一个以上的运行数据设为运行数据族群，进行互不相同的多个运行数据族群的逻辑运算，其特征在于，包括：运行展开步骤，通过对每个所述运行数据执行数据展开操作，而使所述多个运行数据展开并存储在运行展开存储器的地址空间，所述数据展开操作是一方面对存储在与所述运行数据的始端坐标对应的所述运行展开存储器的地址的值加上预设值，另一方面从存储在与该运行数据的终端坐标对应的所述运行展开存储器的地址的值减去所述预设值；重叠信息取得步骤，对所述地址空间的各地址执行扫描操作，而取得表示所述多个运行数据的重叠状态的重叠信息，所述扫描操作是对所述地址空间的第m个地址写入：在完成所述运行展开步骤的时点分别存储在所述地址空间的第0个地址至所述第m个地址的值的总和；及逻辑运算步骤，基于所述重叠信息，求出所述多个运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互斥或之中的至少一个。