[发明专利]气体传感器制备方法及装置有效
| 申请号： | 201410691089.0 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105699426B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 孙杨慧 | 申请（专利权）人： | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 200241 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备气体传感器的方法，包括：通过热蒸发工艺在金属线衬底上生长纳米阵列；对生长出的试管刷状纳米阵列结构进行敏化处理；以及腐蚀该试管刷状纳米阵列结构的两端以露出该金属线衬底作为该气体传感器的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种制备气体传感器的方法，包括：通过热蒸发工艺在金属线衬底上生长纳米阵列；对生长出的试管刷状纳米阵列结构进行敏化处理；以及腐蚀所述试管刷状纳米阵列结构的两端以露出所述金属线衬底作为所述气体传感器的电极。
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