[发明专利]在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法无效
| 申请号： | 201410691285.8 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104498882A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 胡超川;李加海;朱磊;江雪峰 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 安徽信拓律师事务所 34117 | 代理人： | 娄尔玉 |
| 地址： | 239200 安徽省滁州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法，涉及电子显示平板生产技术领域，采用切割磨边好的触控基板玻璃，进行化学强化处理；在处理后的基板玻璃上印制油墨边框；采用大气低温等离子体射流(Air Plasma)清洗处理工艺去除基板玻璃表面油墨中有机物残留；采用纯水进行清洗；采用真空磁控溅射方法依次镀制H膜层、L膜层、ITO膜层，基板玻璃镀膜温度为210-250℃。本发明提供的在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法，通过大气低温等离子体射流(Air Plasma)前清洗处理，解决了直接在油墨上镀制消影层附着力不足、造成消影层掉膜的缺陷；解决了直接在油墨上镀制ITO膜层对温度要求较高的缺陷，同时优化消影效果。 | ||
| 搜索关键词： | 印制 油墨 玻璃 上镀制消影层 ito 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)采用切割磨边好的触控基板玻璃，进行化学强化处理；(2)在处理后的基板玻璃上印制油墨边框；(3)采用大气低温等离子体射流清洗处理工艺去除基板玻璃表面油墨中有机物残留；(4)采用纯水进行清洗；(5)采用真空磁控溅射方法依次镀制H膜层、L膜层、ITO膜层，基板玻璃镀膜温度为210‑250℃。
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