[发明专利]一种电子束熔炼多晶硅粉体的装置及方法有效
| 申请号： | 201410691629.5 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN104402000A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;姜大川;石爽;王登科 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李娜;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束熔炼多晶硅粉体的装置及利用该装置进行多晶硅熔炼的方法，属于电子束熔炼领域。一种电子束熔炼多晶硅粉体的装置，包括熔炼室、电子枪及其真空系统、熔炼室真空系统、坩埚和进料系统，其特征在于：所述进料系统包括加料仓和位于其下的入料仓，所述加料仓和入料仓间通过蝶阀隔离；入料仓底部设有通入熔炼室的入料口，入料口下端连接螺旋加料器；入料口的上方设有料位传感器，所述料位传感器与报警器相连；加料仓的顶端一侧设有加料口。粉体多晶硅的加入，使除磷效率提高30％以上，熔炼时间缩短20％以上，从而降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 熔炼 多晶 硅粉体 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电子束熔炼多晶硅粉体的装置，包括熔炼室、电子枪及其真空系统、熔炼室真空系统、坩埚和进料系统，其特征在于：所述进料系统包括加料仓(2)和位于其下的入料仓(3)，所述加料仓(2)和入料仓(3)间通过蝶阀(9)隔离；入料仓(3)底部设有通入熔炼室的入料口(12)，入料口(12)下端连接螺旋加料器(6)；入料口(12)的上方设有料位传感器(10)，所述料位传感器(10)与报警器(11)相连；加料仓(2)的顶端一侧设有加料口(1)。
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