[发明专利]一种气体预热装置

摘要

一种气体预热装置，预热管位于预热筒内，并且预热管外表面的阶梯与预热筒内表面的阶梯在轴向上相互交错分布。多个预热筒气流板和多个预热管气流板交替套装在预热管的圆周上，并使各预热筒气流板的外缘均安放在预热筒内表面的各层阶梯的端面上，使各预热管气流板的内缘均安放在预热管外表面的各层阶梯的端面上。本发明竖直安放在承料板上，不占用有效的反应空间，能够将化学气相沉积炉的利用率最大化。通过若干气流板增加了预热装置内部的受热面积，延长了反应气体的流通路径和滞留时间，提高了预热装置的预热效率，反应气体的流动方式为上下、左右双循环，在垂直于反应气体流动方向的截面上形成了若干气体涡流，达到充分混合预热的目的。

主权项

一种气体预热装置，其特征在于，包括底座、预热管、预热筒、预热筒气流板和预热管气流板；其中，预热筒的下端嵌装在底座的上表面；预热管位于所述预热筒内，并且所述预热管外表面的阶梯与所述预热筒内表面的阶梯在轴向上相互交错分布；多个预热筒气流板和多个预热管气流板交替套装在所述预热管的圆周上，并使各预热筒气流板的外缘均安放在预热筒内表面的各层阶梯的端面上，使各预热管气流板的内缘均安放在预热管外表面的各层阶梯的端面上；所述预热筒气流板有多个，每个预热筒气流板的内径和外径均不相同；由于各预热筒气流板均套装在预热管的外圆周上，并使各预热筒气流板的外缘安放在预热筒内表面的各预热筒气流板支撑面上，故各预热筒气流板的外径所处位置的预热筒的内径相同，各预热筒气流板的内径比所处位置的预热管的外径大5～15mm，在各预热筒气流板11的内表面与所处位置的预热管的外表面之间形成了5～15mm的气流通道；所述预热管气流板有多个，并且每个预热筒气流板的内径和外径均不相同；由于各预热管气流板均套装在预热管外圆周上的安装面上，并使各预热管气流板的外圆周表面与所处位置的预热筒的内表面之间有气流通道，故各预热管气流板的内径分别与所处位置的预热管的外径相同，同时该预热管气流板外径均比所处位置的预热管的内径小5～15mm，在各预热管气流板的外表面与所处位置的预热筒的内表面之间形成了5～15mm的气流通道；所述气体预热装置的下端安装在承料板上表面中心的环状阶梯槽内；所述该阶梯槽底部的中心有与进气管连通的进气孔。