[发明专利]一种三维微/纳机电开关及其制备方法有效
| 申请号： | 201410692942.0 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105632843B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 郭建军;易志然;许高杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维微/纳机电开关及其制备方法，该三维微/纳机电开关包括具有绝缘基底，所述绝缘基底上设有两个基底电极、各个基底电极上垂直连接有微纳米线，以所述微纳米线的顶端作为开关触点。制备方法如下：(1)在具有绝缘层的基底上制备基底两个相互隔离的基底电极；(2)采用电化学沉积法在各个基底电极上制备微纳米线，即得到所述的三维微/纳机电开关。本发明的三维微/纳机电开关闭合电压较低、器件尺寸小，便于实现高度集成。且制备方法简单，易于实现，制作周期短，可制作高自由度三维微纳米线。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 机电开关 三维 基底电极 微纳米线 基底 绝缘 绝缘层 电化学沉积法 闭合电压 垂直连接 高度集成 高自由度 开关触点 制作周期 隔离 制作 | ||
【主权项】：
1.一种三维微/纳机电开关，其特征在于，包括具有绝缘基底，所述绝缘基底上设有两个基底电极、各个基底电极上垂直连接有微纳米线，以所述微纳米线的顶端作为开关触点；所述微纳米线的高度为直径10～100倍，微纳米材料为类似异质结材料，由底端至顶端，微纳米线的材质的杨氏模量和电导率逐渐减小，密度逐渐增大，所述开关触点处设有触点模块，所述类似异质结材料为整个微纳米线划分为若干段，不同段之间采用不同的材料。
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