[发明专利]一种有效控制探针卡内探针的针径的方法在审
| 申请号： | 201410692983.X | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104502874A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01B21/10 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子领域，具体涉及一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在对被测试结构测试之前，设定一针径参考值spec，之后对测试要用到的探针卡内探针的针径进行对比判断，如果探针夹内探针的针径大于针径参考值spec，则停止测试，探针卡送去做计划维护操作；否则，继续进行对被测试结构的测试过程。通过这种方法有效控制了探针卡针径随着使用时间的变长而变大导致扎出pad外造成器件的缩小和损坏比率，同时节省了因探针卡性能问题导致无效测试的时间，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 控制 探针 方法 | ||
【主权项】：
一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，其特征在于，所述方法包括：提供一包括多个探针的探针卡，每个所述探针均用于连接测试机台和被测试结构；在所述测试机台上设定所述探针的针径参考值；在对所述被测试结构进行测试前，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值，若所述探针的针径大于所述针径参考值，则停止所述探针卡对所述被测试结构的测试。
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