[发明专利]振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法有效
| 申请号： | 201410697616.9 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105700297B | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 庄亚政 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法，调整所述扫描反射镜的振幅，采样扫描反射镜的实时振幅以及光电探测器输出的实时电压值，计算出补偿后的实时解调量Si，并记录工件台的实时离焦量Hi，根据所述补偿后的实时解调量Si和工件台的实时离焦量Hi建立数据库；实际测量时，实时采样所述扫描反射镜的实际振幅以及光电探测器输出的实际电压值，计算出补偿后的实际解调量Sk，利用线性插值法查找所述数据库，求出工件台的实际离焦量Hk；避免了由于扫描反射镜长期工作，出现稳定性差的现象，导致调焦调平检测装置对硅片表面离焦量的测量精度不高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 振幅 监测 系统 调焦 平装 离焦量 探测 方法 | ||
【主权项】：
一种振幅监测系统，其特征在于，包括：扫描反射镜、及驱动所述扫描反射镜做简谐运动的控制模块；其中，所述扫描反射镜上设置有光栅尺；所述光栅尺用于测量所述扫描反射镜的实时振动角度，所述光栅尺包括标尺光栅及与所述标尺光栅配合使用的光栅读数头，所述扫描反射镜的振动轴上刻蚀有所述标尺光栅，所述控制模块通过驱动线驱动扫描反射镜以固定的频率振动，所述光栅读数头用于读取所述扫描反射镜的实时振动角度，然后通过反馈线反馈到控制模块。
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