[发明专利]一种太阳能电池片的湿法蚀刻方法及装置

摘要

本发明提供一种太阳能电池片的湿法蚀刻方法及装置，该装置包括依次放置的蚀刻槽、第一清洗槽、碱洗槽、第二清洗槽、酸洗槽及第三清洗槽；第一清洗槽的入口及出口处分别装设有第一水刀及第二水刀；该装置还包括第一储液槽及第二储液槽，分别通过连接管道与第三清洗槽及第二水刀相连，当第三清洗槽中的液体达到预设水位时，排放多余的液体至第二储液槽，第二储液槽为第二水刀供液；第一储液槽通过连接管道分别与第一清洗槽及蚀刻槽相连，第一清洗槽为第一水刀供液，当第一清洗槽中的液体达到预设水位时，排放多余的液体至第一储液槽，第一储液槽中的液体用于为蚀刻槽补水及配液。本发明可以有效减少含氮废水的排放，降低生产成本。

主权项

一种太阳能电池片的湿法蚀刻装置，包括依次放置的蚀刻槽、第一清洗槽、碱洗槽、第二清洗槽、酸洗槽及第三清洗槽；所述第一清洗槽的入口及出口处分别装设有第一水刀及第二水刀；其特征在于：所述湿法蚀刻装置还包括第一储液槽及第二储液槽；所述第二储液槽分别通过连接管道与所述第三清洗槽及所述第二水刀相连，当所述第三清洗槽中的液体达到预设水位时，排放多余的液体至所述第二储液槽，所述第二储液槽为所述第二水刀供液；所述第一储液槽通过连接管道分别与所述第一清洗槽及所述蚀刻槽相连，所述第一清洗槽为所述第一水刀供液，当所述第一清洗槽中的液体达到预设水位时，排放多余的液体至所述第一储液槽，所述第一储液槽中的液体用于为所述蚀刻槽补水，并用于所述蚀刻槽的蚀刻液配液。