[发明专利]一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法有效
申请号: | 201410706435.8 | 申请日: | 2014-11-27 |
公开(公告)号: | CN104441659A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 李小康;程谋森;李干 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | B29C67/00 | 分类号: | B29C67/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法。脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置,包括用于发生脉冲激光束的脉冲激光束发生装置、用于放置待烧蚀聚合物并接受烧蚀过程中所产生的冲量的冲量接收面板、用于导出烧蚀产物的筒状排气段以及覆盖在待烧蚀聚合物上部并用于在烧蚀过程中诱导等离子体产生的金属网状结构;冲量接收面板设于筒状排气段的底部,金属网状结构安装在筒状排气段和/或冲量接收面板上并覆盖于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上部,金属网状结构与待烧蚀聚合物之间留有间隙,脉冲激光束发生装置的脉冲激光束发生端朝向冲量接收面板布置,脉冲激光束发生装置所发射的脉冲激光束穿过金属网状结构并作用于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上。 | ||
搜索关键词: | 一种 脉冲 激光 聚合物 冲量 产生 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置,其特征在于,包括用于发生脉冲激光束的脉冲激光束发生装置(1)、用于放置待烧蚀聚合物(5)并接受烧蚀过程中所产生的冲量的冲量接收面板(2)、用于导出烧蚀产物的筒状排气段(3)以及覆盖在所述待烧蚀聚合物(5)上部并用于在烧蚀过程中诱导等离子体产生的金属网状结构(4);所述冲量接收面板(2)设于所述筒状排气段(3)的底部,所述金属网状结构(4)安装在所述筒状排气段(3)和/或所述冲量接收面板(2)上并覆盖于所述冲量接收面板(2)上的所述待烧蚀聚合物(5)上部,所述金属网状结构(4)与所述待烧蚀聚合物(5)之间留有间隙,所述脉冲激光束发生装置(1)的脉冲激光束发生端朝向所述冲量接收面板(2)布置,所述脉冲激光束发生装置(1)所发射的脉冲激光束穿过所述金属网状结构(4)并作用于所述冲量接收面板(2)上的所述待烧蚀聚合物(5)上。
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