[发明专利]物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法有效
| 申请号： | 201410708186.6 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN104404626A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 邹凯;和江变;郭凯华;郭永强;孟德龙;宗灵仑;李健 | 申请（专利权）人： | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;C30B31/08 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 于宝庆;吴娅妮 |
| 地址： | 010111 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括，1)将清洗制绒后的硅片进行第一恒温热处理；2)将经步骤1)处理后的硅片进行第二恒温热处理；3)将经步骤2)处理后的硅片进行氧化处理；4)向步骤3)处理后的硅片通磷源进行磷扩散处理；5)将经步骤4)处理后的硅片进行退火处理。本发明的扩散方法应用于物理冶金硅太阳电池制备中，可节约成本，提高产能，所形成的PN结，表面杂质浓度低，杂质分布均匀，扩散均匀性好，减小了死层效应，有利于电子的收集，降低了太阳能电池因复合造成的效率损失，从而提高了电池片的最终光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 冶金 多晶 太阳能电池 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括，1)将清洗制绒后的硅片进行第一恒温热处理；2)将经步骤1)处理后的硅片进行第二恒温热处理；3)将经步骤2)处理后的硅片进行氧化处理；4)向步骤3)处理后的硅片通磷源进行磷扩散处理；5)将经步骤4)处理后的硅片进行退火处理。
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