[发明专利]一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201410709441.9 | 申请日： | 2014-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN104535003A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 姜海明;曹忠;王晓军;杨欢;牛聪明 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01P3/68 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法，检测装置包括摄像装置和工业计算机，所述摄像装置与所述工业计算机电连接，所述摄像装置设置于多晶硅还原炉炉壁的石英视镜前方。检测方法包括如下步骤：(1)多晶硅还原炉内放置硅棒棒芯；(2)摄像装置采集数据；(3)工业计算机数据分析。本发明通过设计硅棒直径检测的方法，能够获得还原炉运行中硅棒直径这一重要参数，并进而计算得出不同生长阶段的沉积速度、瞬时电耗和瞬时转化率等，以此为依据指导和优化还原炉的运行，根据硅棒生长直径情况给定合理的原料、加热电流，从而提高还原炉的运行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生长 速度 直径 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置，其包括摄像装置和工业计算机，所述摄像装置与所述工业计算机电连接，其特征在于，所述摄像装置设置于多晶硅还原炉炉壁的石英视镜前方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古神舟硅业有限责任公司;，未经内蒙古神舟硅业有限责任公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410709441.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
