[发明专利]一种三轴微机电陀螺仪

摘要

本发明涉及一种三轴微机电陀螺仪，包括：位于中央的环形检测电容；两组驱动电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿y轴在原点的两侧对称分布；两组第二检测电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿x轴在原点的两侧对称分布；联动部，分别与所述可动驱动电极、所述可动检测电极、以及所述环形上极板的外沿连接。本发明的三轴微机电陀螺仪采用单结构设计，电容式静电驱动和差动电容检测，驱动方式简单，结构紧凑，有利于减小陀螺仪体积，工艺上适合批量生产，并且能够实现良好的测量精度和灵敏度。

主权项

一种三轴微机电陀螺仪，其特征在于，包括：基板；位于基板中央位置的环形检测电容，其中心为原点；所述环形检测电容包括固定在基板上的四个下极板以及正对所述四个下极板并且悬置于所述下极板上方的环形上极板；所述四个下极板分为两组：第一组下极板沿x轴在原点的两侧对称分布，所述第一组下极板与其对应部分的环形上极板相配合构成一组第一检测电容；第二组下极板沿y轴在原点的两侧对称分布，所述第二组下极板与其对应部分的环形上极板相配合构成另一组第一检测电容；所述环形上极板在原点处通过第一锚点固定于基板上；两组驱动电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿y轴在原点的两侧对称分布；每组所述驱动电容都包括互相配合的可动驱动电极和固定驱动电极；两组第二检测电容，位于所述环形检测电容的外侧且沿x轴在原点的两侧对称分布；每组所述第二检测电容都包括互相配合的可动检测电极和固定检测电极；联动部，分别与所述可动驱动电极、所述可动检测电极、以及所述环形上极板的外沿连接；其中，所述驱动电容用于提供沿y轴方向的驱动力，并且通过所述联动部带动所述可动检测电极沿y轴方向做线运动以及带动所述环形上极板绕所述第一锚点做转动运动。