[发明专利]一种灯装置、基板清洁设备及其工作方法有效
| 申请号： | 201410713454.3 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN104456455B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 童庆;杨勇;廖伟经 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | F21V21/00 | 分类号： | F21V21/00;F21V19/00;A61L2/10 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种灯装置、基板清洁设备及其工作方法，所述灯装置包括多个远紫外线灯和多个连接结构，所述连接结构位于相邻的两个所述远紫外线灯之间，一个所述远紫外线灯上设置有第一凹槽，相邻的另一个所述远紫外线灯上设置有第二凹槽，所述连接结构的一端位于所述第一凹槽内，所述连接结构的另一端位于所述第二凹槽内，从而避免了划伤玻璃基板，提高了显示面板的良率和有机物去除能力。 | ||
| 搜索关键词： | 远紫外线灯 连接结构 灯装置 基板清洁设备 有机物去除 玻璃基板 显示面板 划伤 良率 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洁设备，其特征在于，包括第一固定端、第二固定端以及灯装置，所述灯装置的一端与所述第一固定端连接，所述灯装置的另一端与所述第二固定端连接；所述灯装置包括多个远紫外线灯和多个连接结构，所述连接结构位于相邻的两个所述远紫外线灯之间，一个所述远紫外线灯上设置有第一凹槽，相邻的另一个所述远紫外线灯上设置有第二凹槽，所述连接结构的一端位于所述第一凹槽内，所述连接结构的另一端位于所述第二凹槽内；所述远紫外线灯的下方设置有玻璃基板，所述远紫外线灯用于对所述玻璃基板进行紫外线照射。
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