[发明专利]应用于单晶炉的晶体称重装置有效
申请号: | 201410713590.2 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN104357900A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 李辉;李占贤;张洪涛;宁斯琴;杨晓飞;江世成 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20;G01G19/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李昊 |
地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种单晶炉的晶体称重装置,包括串联重量传感器组,串联重量传感器组包括第一重量传感器和第二重量传感器,第一重量传感器与第二重量传感器串联连接,第一重量传感器量程大于第二重量传感器,第二重量传感器的精度高于第一重量传感器。本发明的重量传感器设置在真空腔外,线缆不需要真空电极转接,增强了抗电磁干扰能力。 | ||
搜索关键词: | 应用于 单晶炉 晶体 称重 装置 | ||
【主权项】:
一种应用于单晶炉的晶体称重装置,其特征在于,包括串联重量传感器组,所述的串联重量传感器组包括第一重量传感器(8)和第二重量传感器(6),第一重量传感器(8)与第二重量传感器(6)串联连接,所述第一重量传感器量程(8)大于第二重量传感器(6),所述第二重量传感器(6)的精度高于第一重量传感器(8)。
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