[发明专利]一种UV处理机台工艺性能的日常检查方法

摘要

一种UV处理机台工艺状态的日常检查方法，包括以下步骤步骤1、将一硅光片送入一UV处理机台中，并将所述UV处理机台的工艺温度稳定在一基准值；步骤2、采用一UV光对所述硅光片进行照射，以得到UV处理机台在一段时间内的温度变化率；步骤3、对所述温度变化率进行监控。使用所述检查方法的有益效果为1)及时监控工艺条件执行完毕就可得到检查结果；2)准确通过传感器直接收集温度数据，可排除光阻差别等中间环节带来的误差；3)低成本降低了硅片、光阻、量测等的物料及机时成本；4)低风险降低了光阻片在使用固胶工艺监控及再生过程中的颗粒、胶残留对硅片及机台的污染等风险。

主权项

一种UV处理机台工艺状态的日常检查方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将一硅光片送入一UV处理机台中，并将所述UV处理机台的工艺温度稳定在一基准值；步骤2、采用一UV光对所述硅光片进行照射，以得到UV处理机台在一段时间内的温度变化率；步骤3、对所述温度变化率进行监控；在所述步骤3中，采用以下方式对所述温度变化率进行监控：将所述温度变化率与一温度变化率标准进行比较，若所述温度变化率符合所述温度变化率标准，则所述机台的工艺性能符合实际工艺要求，若所述温度变化率不符合所述温度变化率标准，则所述机台的工艺性能不符合实际工艺要求；在所述步骤2中，所述一段时间为小于5分钟；所述UV光的强度为小于1000mW/cm2。