[发明专利]一种新型精密调谐升降基台有效
| 申请号： | 201410717894.6 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN104363692B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 刘小利;周学芹;史玉芬;赵海栋 | 申请（专利权）人： | 苏州宝晶新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体构成微波等离子反应腔，所述反应腔体底部固定在主基台上，位于所述主基台上套设有同轴间隙配合的大调谐基台和小调谐基台，其中所述小调谐基台位于反应腔体的中轴线上，所述大调谐基台与主基台间隙配合，本发明的一种新型精密调谐升降基台，带有两个调谐基台，并作密封处理，其次能够对微波等离子体反应腔进行精密调谐，使腔体内获得稳定的微波等离子放电，为微波等离子体反应腔内稳定的物理化学反应提供保障，最后不仅可以精密且快速地完成微波等离子体反应腔的调谐，从而获得能够稳定工作的微波等离子体，且结构简单，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 精密 调谐 升降 | ||
【主权项】：
一种精密调谐升降基台，其特征在于：精密调谐升降基台与反应腔体(1)构成微波等离子反应腔，其中所述反应腔体(1)底部固定在主基台(2)上，位于所述主基台(2)上套设有同轴间隙配合的大调谐基台(3)和小调谐基台(4)，其中所述小调谐基台(4)位于反应腔体(1)的中轴线上，所述大调谐基台(3)与主基台(2)间隙配合；大调谐基台(3)底端通过法兰盘与大波纹管(6)和小波纹管(5)密封连接；小调谐基台(4)底端与小波纹管(5)一端通过法兰盘密封连接；主基台(2)与反应腔体(1)焊接；反应腔体(1)端部连接将微波传送到反应腔体(1)内的模式转换器(7)，所述模式转换器(7)横向开口一端连接短路活塞(8)，其横向开口另一端连接销钉调节器(9)；反应腔体(1)与箱体(11)通过螺栓固定连接，基片(10)位于小调谐基台(4)上，大调谐基台(3)与主基台(2)之间大部分采用间隙配合，大调谐基台(3)和小调谐基台(4)之间采用间隙配合，同时大调谐基台(3)的一端、小波纹管(5)的一端和大波纹管(6)一端通过法兰盘密封连接，小调谐基台(4)的一端与小波纹管(5)的另一端通过法兰盘密封连接；所述小调谐基台(4)的直径尺寸要求范围在30‑75毫米，所述大调谐基台(3)的直径尺寸要求范围在80‑120毫米；所述大调谐基台( 3) 和小调谐基台( 4) 的调谐长度范围分别是90毫米和120毫米，所述主基台( 2) 与反应腔体( 1) 焊接；所述大调谐基台(3)和小调谐基台(4)的调谐长度范围分别是90毫米和155毫米；反应腔体(1)直径180毫米，高220毫米，材质是304不锈钢；主基台(2)内径是100毫米，高度为48毫米，材质是304不锈钢；大波纹管(6)壁厚0.25毫米，型号是ISO80FXC180，材质是304不锈钢；小波纹管(5)壁厚0.2毫米，型号是KF40FXC100，材质是304不锈钢。
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