[发明专利]一种自动OLED基板高效热处理设备

摘要

本发明公开了一种产线用OLED基板高效热处理设备，包括腔体，基板出口和基板入口，基板入口设置在腔体左侧腔壁的下部，基板出口设置在腔体右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部、处理室中部和处理室右部组成的处理室，处理室放置在腔体内部；所述水平向传动装置和升降装置都与计算机相连。本发明的产线用OLED基板高效热处理设备优点为：能够在产线上自动运行，工艺误差低，成本低，体积小。

主权项

一种自动OLED基板高效热处理设备，其特征在于：包括腔体(1)，基板出口(2)和基板入口(3)，基板入口(3)设置在腔体(1)左侧腔壁的下部，基板出口(2)设置在腔体(1)右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部(4)、处理室中部(5)和处理室右部(6)组成的处理室，处理室放置在腔体(1)内部；处理室左部(4)包括处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)和处理室左部四层(45)，处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)和处理室左部四层(45)依次重叠；处理室中部(5)包括处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)和处理室中部四层(55)，处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)和处理室中部四层(55)依次重叠；处理室右部(6)包括处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)，处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)依次重叠；处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)、处理室左部四层(45)、处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)、处理室中部四层(55)、处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)都设置有水平向传动装置；处理室右部一层(62)、处理室左部二层(43)、处理室右部三层(64)和处理室左部四层(45)还设置有升降装置；所述水平向传动装置和升降装置都与计算机相连。